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上海微技術工業研究院設備材料研發合作平臺 華海清科CMP設備搬入儀式成功舉辦
出自:大半導體產業網

2020年1月20號,上海微技術工業研究院(簡稱“工研院”)攜手天津華海清科機電科技有限公司(簡稱“華海清科”)舉辦了工研院設備材料研發合作平臺化學機械拋光(CMP)設備搬入儀式。來自工研院與華海清科的領導出席了本次儀式,同時來自上海聯和投資、嘉定國資、菊園新區的各位領導也蒞臨儀式現場,共同見證工研院與產業界開展研發合作的又一重要里程碑。

上午,CMP設備搬入儀式正式開始。工研院總經理丁輝文首先致辭,丁輝文表示此次工研院與國產CMP設備杰出廠商華海清科的深度研發合作,是產業界的一次強強聯合,更是一次研發合作新模式的探索和嘗試。工研院將進一步拓展研發轉化新模式,著力打造創新創業新載體,以8寸研發中試線為支撐,以新設備、新材料、新工藝的創新發展促進新器件的性能提升,助力集成電路生態系統建設。



華海清科路新春董事長表示華海清科是天津市政府與清華大學聯和成立的CMP設備公司,設備品類覆蓋8~12寸機型,在國內主流公司廣泛使用。工研院擁有8英寸“超越摩爾”研發中試線,可實現從研發到量產的全程服務,此次與工研院合作是優勢互補、資源共享、互利共贏的新起點,具有重要的里程碑意義。



雙方在儀式現場簽訂了戰略合作協議,并為設備搬入進行了剪彩。





設備和材料是集成電路產業的基石,也為我們“超越摩爾”領域的多元化創新提供了最根本的保障。通過此次創新合作,能夠進一步提升工研院8寸研發中試線的工藝平臺能力,從而支持更多的工藝及器件創新。同時,也會將當今信息技術所需元器件對于工藝的最新需求反饋至設備公司,助力其進一步改進設備對特色工藝的支持能力。

近年來,工研院通過創新研發合作模式、引進國內外專家、成立研發合作部門等多項舉措,與一批國際和本土的知名設備材料企業建立了緊密的合作關系。工研院作為一個開放的平臺,愿與國內外集成電路產業公司攜手合作,不斷降低產業研發成本,縮短產品開發周期,逐步共同探索出一條自身造血、可持續發展的道路。



關于上海微技術工業研究院(SITRI):成立于2013年,由上海市科委、嘉定區和中科院微系統所發起成立,是集研發、工程、產業化于一體的新型研發機構。SITRI擁有全國首條8寸“超越摩爾”(More than Moore)研發中試線。SITRI通過公司制注冊、市場化運作、基礎研發設施投入、全球一流人才引進和產業廣泛對接等措施,不斷降低產業研發成本,縮短產品開發周期,在促進創新創業的同時,逐步探索出一條自身造血、可持續發展的道路。SITRI已形成國際化的專家團隊,在MEMS、AlN、硅光、微流控、生物光電子、磁傳感和硅基III-Ⅴ族等領域為企業提供長期可靠的研發服務。通過組建工程服務平臺,提供產品、工藝、電路的分析以及晶圓和成品測試等技術支持,同時提供芯片設計、知識產權和產業咨詢等相關服務。SITRI立足上海、輻射長三角、面向全國,已初步形成“超越摩爾”領域的產業生態體系。

關于天津華海清科機電科技有限公司(華海清科):成立于2013年,是天津市政府與清華大學踐行“京津冀一體化”國家戰略,為推動我國CMP技術和設備產業化成立的高科技企業。華海清科主要從事CMP設備和工藝及配套耗材的研發、生產、銷售與服務,核心團隊成員來自清華大學摩擦學國家重點實驗室及業內專業人才,產品可廣泛應用于極大規模集成電路制造、封裝、微機電系統制造、晶圓平坦化、基片制造等領域。華海清科依靠國際化的經營理念和人才團隊、先進的工藝試驗條件,致力于為相關領域的企業、高校和科研院所提供先進的CMP設備及工藝的集成解決方案,遵循“科技服務社會”的公司宗旨,持續進行優良的品質和卓越的服務贏得國內外用戶的信賴。
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文章收入時間: 2020-01-22
 
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