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特種氣體化學品配送設施規范審查驗收會議在正帆科技召開
出自:大半導體產業網

2019年11月19日,《電子工廠特種氣體和化學品配送設施通用規范》(“規范”)研編工作審查驗收會議在上海正帆科技股份有限公司(“正帆科技”)召開,十余家研編單位有關人員和30位評審專家參加了本次會議,并在會議上審查了規范的草案、研編工作報告及專題研究報告。
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該規范是由中國電子技術標準化研究院電子工程標準定額站組織、信息產業電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司等相關單位共同研究編制。目前編制完成的規范主要涉及特氣和化學品配送設施設計、配套設施設計、施工與驗收、運行與維護、廢棄與拆除等內容。正帆科技作為主要參編單位之一,主要完成了特種氣體設備和輸送系統章節內容的撰寫,得到了中國電子技術標準化研究院電子工程標準定額站的高度認可。此規范發布后將成為泛半導體行業的氣體化學品輸送系統方面的綜合性指導文件。

深耕中國集成電路、平板顯示、半導體照明、太陽能光伏、光纖制造以及生物制藥產業領域制程關鍵系統綜合解決方案近20年,正帆科技一直致力于推進行業相關規范和標準的制定,曾參與《電子工程化學品系統工程技術規范GB50781》、《特種氣體系統工程技術規范GB50646》、《大宗氣體純化輸送系統工程技術規范GB50724》以及《光纖廠工程技術規范GB 50945》等國家標準的起草和制定,填補了國標在此領域的空白,為泛半導體行業氣體和化學品的安全使用提供了指導和參考標準。

正帆科技將多年工藝應用數據庫和項目經驗積累納入到規范的撰寫中,比如高純工藝系統微污染控制技術,依據材料科學和表面處理工藝原理,通過對系統設計、材料選型、設備制造、現場潔凈環境、施工工法、質量檢驗、設備測試和調試等關鍵環節的控制,避免配送系統對工藝介質帶來二次污染,保障高純氣體和化學品在配送過程中的純度。目前正帆科技的高純配送系統可保障純度為99.9999999% (9N)的氣體和化學品輸送。

此外,特種氣體和化學品輸送系統面對的多數是易燃、易爆、劇毒、易腐蝕的氣體或者化學品,且工藝過程復雜,易對系統壽命乃至工作人員的生命安全造成威脅。正帆科技在所撰寫的特種氣體設備和輸送系統章節中特別強調了硬件本質安全、工藝設計安全、系統聯動安全控制、工藝監控綜合安全管理等方式共同實現在安全安全保障的重要性。正帆科技通過精密氣體偵測技術,對排放點及環境點進行檢測,確保排放和工作環境氣體指標達到安全要求。系統發生意外泄漏時監控系統可及時報警,自動切斷氣體供應,啟動事故應急反應,確保人員、設備和環境安全。

此次審查驗收通過后,《電子工廠特種氣體和化學品配送設施通用規范》將被提交住房和城鄉建設部標準定額司以及工業和信息化部規劃司立項,得到批準后將組織該規范的編寫工作。

 

 

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文章收入時間: 2019-11-20
 
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